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                                前烘氮氣烘箱,硬烘潔凈烘箱 工業烘箱

                                前烘氮氣烘箱,硬烘潔凈烘箱 工業烘箱

                                簡要描述:

                                前烘氮氣烘箱,硬烘潔凈烘箱優化光刻膠的光學吸收特性,提高光刻膠對襯底的黏附性

                                前烘氮氣烘箱,硬烘潔凈烘箱用途

                                  前烘可在熱烘板或氮氣烘箱中進行,本課題采用的熱風烘箱為雋思氮氣潔凈烘箱,由于在鼓風烘箱中對流烘烤將會使前烘進行的更加均勻,所以在鼓風箱中前烘的效果將會更理想。

                                前烘是在涂膠結束后進行,它的作用有以下幾個方面

                                驅趕膠中的溶劑

                                提高膠對襯底的黏附性

                                提高膠的抗腐蝕能力

                                優化膠的光學吸收特性

                                提高涂膠的均勻性

                                提高條寬控制能力

                                通過前烘,基片上的光刻膠基本固化。

                                前烘氮氣烘箱,硬烘潔凈烘箱性能:

                                潔凈度:Class100;     

                                溫度:RT+15~200℃;
                                氣體:N2 

                                計時功能:0-99H99M99S 

                                設備材質:內部SUS304不銹鋼           

                                工作尺寸(mm):

                                450×450×450

                                500×500×550

                                (可定制)          

                                網板:活動式2塊

                                前烘氮氣烘箱,潔凈烘箱適用性:

                                氮氣烘箱也適用于IC封裝、光刻膠固化、銀膠固化、電子液晶顯示、LCD、CMOS、MEMS、醫藥、實驗室等生產及科研.


                                真空無氧固化爐,高溫無氧烘箱技術參數
                                溫度范圍: RT ~300/450/550℃;
                                溫度波動度:≤±1

                                升溫速度:0-10℃/min;
                                降溫方式:自然降溫或風冷+水冷降溫

                                氮氣控制: 可調試流量計控制
                                氧含量檢測:201000ppm

                                工作尺寸:W350×H350×D400,

                                高溫無氧真空烘箱溫控系統:
                                操作界面:人機界面+PLC,可一鍵運行,多個工藝編輯;
                                溫度測量:K型熱偶;

                                控制儀表:高精度溫度控制器,PID調節,控制精度0.1℃,


                                COPYRIGHT @ 2016 網站地圖    滬ICP備16022591號-1   

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