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                                HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱無油泵 工業烘箱

                                HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱無油泵 工業烘箱

                                簡要描述:

                                HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱無油泵真空干泵具有靜音(&lt;50dBA)和低振動運行的,
                                密封設計(真空區與電機和軸承全隔開) 可提供潔凈的泵內氣體環路;從而消除了油或油脂帶來的污染風險。

                                HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱無油泵

                                真空干泵具有 靜音<50dBA)和低振動運行的,

                                密封設計(真空區與電機和軸承全隔開) 可提供潔凈的泵內氣體環路;從而消除了油或油脂帶來的污染風險。

                                極限壓力:1.33 x 102 mbar (1 x 102Torr)

                                最大入口壓力:1.0 個大氣壓(0 psig)

                                冷卻 方式:風冷

                                泵凈重: 34 q (75 bs);含包裝: 45 kg(100bs)

                                尺寸 (高x寬x長(mm)):364x 333x 485

                                泄漏速度(密封排氣口時):< 1 x 10° sccs (1 x 10 mbar.l/s)

                                HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱無油泵用途


                                HMDS烘箱的作用

                                    HMDS烘箱是將HMDS蒸汽通過干燥的真空腔內加熱到一 定溫度,在襯底表面上HMDS作為單層膜進行化學結合,使這樣的襯底表面具有疏水性。從而增強光刻與襯底表面的粘附性。

                                HMDS烘箱性能

                                溫度范圍:RT+10-250℃

                                真空度:≤1torr

                                控制儀表:彩色觸摸屏控制,操作更加簡單,方便

                                HMDS工藝:蒸汽氣相涂布

                                安全檢測:超溫保護,HMDS泄漏檢測提示

                                儲液瓶:HMDS儲液瓶 

                                真空泵:無油渦旋真空泵

                                工作室(mm):300*300*300/450*450*450、定制



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