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                                后曝光氮氣烘箱,PEB無塵烘箱
                                后曝光氮氣烘箱,PEB無塵烘箱

                                后曝光氮氣烘箱,PEB無塵烘箱所使用的高溫(100-130°C)會使光敏化合物擴散,從而消除駐波波紋.百級潔凈度無塵化,專用于半導體,集成電路。

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                                智能型無塵無氧烘箱(PI固化厭氧烤箱)
                                智能型無塵無氧烘箱(PI固化厭氧烤箱)

                                智能型無塵無氧烘箱(PI固化厭氧烤箱)箱體內裝有氧含量分析儀,全程檢測氧含量值,并記錄。

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                                三箱式百級無塵烤箱,電子百級潔凈烘箱
                                三箱式百級無塵烤箱,電子百級潔凈烘箱

                                三箱式百級無塵烤箱,電子百級潔凈烘箱耐高溫超潔凈H.E.P.A,(特殊風道設計)過濾效果可達99.99%,Class100

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                                高溫百級無氧烘箱,500度厭氧潔凈烤箱
                                高溫百級無氧烘箱,500度厭氧潔凈烤箱

                                高溫百級無氧烘箱,500度厭氧潔凈烤箱用于PI、BCB 膠高溫固化烘烤、銀膠固化、光刻膠固化、電子陶瓷材料、硅片退火、玻璃退火、無塵烘干的特殊工藝要求。

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                                不銹鋼無塵烤箱,雙層無塵烘箱
                                不銹鋼無塵烤箱,雙層無塵烘箱

                                不銹鋼無塵烤箱,雙層無塵烘箱應用于目前關鍵的半導體電子行業(如硅片干燥,堅膜烘烤,裝片機后道烘烤,塑封后烘烤,治具烘烤等),另外,雙層無塵烘箱還在LED制造行業中用于烘烤玻璃基板、無機材料行業中用于材料高精度工序。

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                                百級無塵烘箱,不銹鋼無塵烤箱 工業烘箱
                                百級無塵烘箱,不銹鋼無塵烤箱 工業烘箱

                                百級無塵烘箱,不銹鋼無塵烤箱用于IC生產中前烘、后烘烤、堅膜、裝片機后端烘烤、塑封封裝烘烤、光刻膠固化、治具干燥、薄膜烘烤、硅片干燥等工藝。

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                                電子無塵烤箱,電子潔凈烘箱 工業烘箱
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                                電子無塵烤箱,電子潔凈烘箱 晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅芯片。在硅芯片上可加工制作成各種電路組件結構,而成為有特定電性功能之IC產品。一般是芯片電路設計-晶圓的制造-晶圓的測試-晶圓的切割研磨-芯片的封裝-成品芯片的測試。在整個工藝中晶圓烘烤工藝也很重要,且需要多次烘烤。

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