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                                產品展示您的位置:網站首頁 > 產品展示 > 半導體烘烤設備 > 真空烤箱
                                真空無氧化烤箱(BCB厭氧固化烤烘箱)
                                真空無氧化烤箱(BCB厭氧固化烤烘箱)

                                真空無氧化烤箱(BCB厭氧固化烤烘箱)是將涂敷BCB或PI的襯底放入真空無氧烘箱中,通入N2→真空置換后,采用多級升溫保溫的方式,在規定的時間從室溫升至第一溫度階段,并在該溫度段保溫1-2h,再在規定的時間從第一溫度升至第二溫度階段,并在該溫度段保溫一定的時間;隨后增通過輔助的降溫系統(水冷和風冷),將退火爐的溫度降至80度左右,完成固化。

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                                小型蒸發鍍膜儀,實驗室氣相沉積設備
                                小型蒸發鍍膜儀,實驗室氣相沉積設備

                                小型蒸發鍍膜儀,實驗室氣相沉積設備 用于真空蒸發鍍光學薄膜、有機物薄膜和金屬薄膜、在襯底上沉積各單層金屬 膜,主要用于蒸鍍電極及有機半導體材料的物理化學性能研究實驗研究 。特別適合于高科技企業、科研單位和高校用于膜層研究和膜系開發。

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                                抗粘 劑氣相涂布烘箱,抗粘劑 氣相沉積系統
                                抗粘 劑氣相涂布烘箱,抗粘劑 氣相沉積系統

                                抗粘 劑氣相涂布烘箱,抗粘劑 氣相沉積系統主要用于納米壓印光刻(NIL)應用,防粘涂層的制備,可用于光刻工藝中硅烷涂膠;以及功率半導體,LED,MEMS,半導體分立器件等硅烷沉積涂膠工藝。

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                                芯片真空儲存柜,半導體真空氮氣柜
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                                芯片真空儲存柜,半導體真空氮氣柜半導體、電路板、電子成品、芯片、電池板、電池片、電子元器件、高級金屬制品、厭氧產品、易氧化產品等)及機金屬加工件與各類不便于冷藏的食品,還有書籍、衣物等厭氧物品的真空存貯,以防潮、防氧化變色。適用于工廠、高等院校、科研等場所。

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                                真空儲存柜,真空干燥柜
                                真空儲存柜,真空干燥柜

                                真空儲存柜,真空干燥柜適用于各類化工原料、貴重金屬、金屬粉末等各種固體、粉狀、糊狀、液體,電子產品(半導體、電路板、電子成品、芯片、電池板、電池片、電子元器件、高級金屬制品、厭氧產品、易氧化產品等)及機金屬加工件與各類不便于冷藏的食品,還有書籍、衣物等厭氧物品的真空存貯,以防潮、防氧化變色。適用于工廠、高等院校、科研等場所。

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                                抗粘劑涂膠機,抗粘 劑真空預處理系統
                                抗粘劑涂膠機,抗粘 劑真空預處理系統

                                抗粘劑涂膠機,抗粘 劑真空預處理系統用于半導體,光電、電子行業硅片或石英硬模板等材料,如制備各種微納電子器件、光學器件、光電器件、存儲器、微流體通道、生物芯片等微納結構制備方面的應用。

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                                抗粘 劑鍍膜機,抗粘劑蒸鍍機
                                抗粘 劑鍍膜機,抗粘劑蒸鍍機

                                抗粘 劑鍍膜機,抗粘劑蒸鍍機抗粘劑氣相涂布機模具在使用前,要涂一層抗粘劑,使得模具和壓印膠之間的粘附性變差,使脫模過程變得容易。

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